羅茨真空機組經過一段時間的使用，在它的外表以及其內部會積累一些污垢，粉塵等，若不及時清洗，不僅會堵塞整個設備，而且對設備的真空度以及各個方面的性能都會產生很不好的影響。所以說為了設備的壽命，定時清洗是很關鍵的一步。我們應該如何清洗呢？
　　1、羅茨真空機組每使用一定的時間就要清洗聚集在泵腔中的異物，例如可以短時間打開排泄管路上的閥門或短時間打開排空絲堵。

　　2、將硝酸或是其他的可溶性物質，但一定要稀釋后的，不能用純度高的，那樣會直接損傷設備的內部組件，放置容器內等候一個小時左右，再用清水直接沖刷。

　　3、將噴口及引管小心地取出，并拆開，用干凈的棉紗或廢紙將泵內部及各級噴口與引管上的油脂擦掉；用濃度為50～100克/升的苛性鈉溶液，并加熱到60～70℃，進行浸洗，或者直接用有機溶劑浸洗，然后用冷水多次沖洗，將零部件用熱風吹干或在烘箱中烘干。
　　4、從放油孔排出舊油及臟物，用漏斗從進氣口注入新油，用手慢慢的旋轉泵內幾圈后，再把此油放出。用同樣的方法重復一、二次，就可灌新油正式使用。
　　5、如果羅茨真空機組在工作中有過量的水垢集結，那么每隔一定時間就要沖洗一次，沖洗時間先用一種合適的溶劑沖洗，然后再用水沖洗。
　　6、所有安裝在管路上的過濾網和過濾器也須進行周期性的清洗或更換。
　　7、當用壓縮氣體清洗時，須佩戴人身保護裝備并使排出的氣體從管路排出。使用化學清洗物時，須注意相關安全材料中的警告和指導。化學物質須與所用材料相適應，應注意化學物質可能會腐蝕泵內的零件。
　　8、下一次的清洗周期須根據初次檢查過程中羅茨真空機組排氣腔內結垢情況或管路上過濾網過濾器的堵塞情況來確定。
　　因此我們要正確清洗羅茨真空機組，定期清洗能夠長時間保持設備的干凈。并且能夠更加有效地使用設備，正確的清洗方法對于設備的壽命延長能夠起到一定的作用。